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    潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試

    簡要描述:潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試 潔凈度檢測 GB50472-2008 電子廠房設計規(guī)范同GB50073-2013潔凈廠房設計規(guī)范潔凈度的測試方法一致,采樣點應均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi),并應位于工作區(qū)的高度,活動高度宜距離地面0.8每個采樣點的最小采樣時間為1min.每一采樣點的每次采樣量應至少為2L,采樣量應按下式計算:

    • 產(chǎn)品型號:
    • 廠商性質:工程商
    • 更新時間:2022-12-05
    • 訪  問  量:1352

    詳細介紹

    潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試 GB50472-2008 電子廠房設計規(guī)范GB50073-2013潔凈廠房設計規(guī)范潔凈度的測試方法一致

    潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試潔凈度的檢測,應符合下列規(guī)定:

    1、應使用采樣量大于1Lmin光學粒子計數(shù)器(激光塵埃粒子計數(shù)器),應根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書。

    潔凈度檢測



    2、最少采樣點應按下式計算:

    NLA

    式中NL——最少采樣點;

    A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積()

    3、采樣點應均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi),并應位于工作區(qū)的高度,活動高度宜距離地面0.8m;每個采樣點的最小采樣時間為1min.


    4、每一采樣點的每次采樣量應至少為2L,采樣量應按下式計算:

    Vs={20/ Cn.m}×1000

    式中:Vs——每個采樣點的每次采樣量,以L表示;當Vs很大時,可使用順序采樣法;
    Cn.m——被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(pc/m3)
    20
    ——在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時,可測到的粒子顆數(shù)(pc)
    5 、當潔凈室或潔凈區(qū)僅有一個采樣點時,則在該點應至少采樣3次。

    潔凈室檢測-電子廠潔凈度塵埃粒子測試 判定參考表格

    GB50073-2013潔凈廠房設計規(guī)范

    空氣潔凈等級(N

    最高濃度極限(顆粒數(shù)/m3

    近似對應傳統(tǒng)規(guī)格

    0.1μm

    0.2μm

    0.3μm

    0.5μm

    1.0μm

    5.0μm

    1

    10b

    2






    2

    100

    24

    10

    4




    3

    1,000

    237

    102

    35

    8


    1

    4

    10,000

    2,370

    1,020

    352

    83


    10

    5

    100,000

    23,700

    10,200

    3,520

    832

    29

    100

    6

    1,000,000

    237,000

    102,000

    35,200

    8,320

    293

    1,000

    7




    352,000

    83,200

    2,930

    10,000

    8




    3,520,000

    832,000

    29,300

    100,000

    9




    35,200,000

    8,320,000

    293,000


    潔凈度檢測



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